從學(xué)術(shù)角度講,純水包含高純水,是指水的純度極高,其主要應(yīng)用在生物、 化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域,但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高,所以一般應(yīng)用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水,要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級(jí)。 在純水的制作中,水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10),但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多,至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。電子級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)也在不斷地修訂,而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展,新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。 目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別:Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí),該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。 高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有:1.微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。高純水的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除。 在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導(dǎo)致低擊穿,產(chǎn)生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。 高純水不能作為飲用水的原因主要是,天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等,在高純水的生產(chǎn)過程中,還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì),在生產(chǎn)高純水的過程中,加入了一些化學(xué)殺菌劑,如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。 |
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